Diffúz szilícium nyomásérzékelők jellemzői

Más elvű érzékelőkkel összehasonlítva a szórt szilícium nyomásérzékelők a következő jellemzőkkel rendelkeznek:

1. Kis hatótávolságú érzékelők készítésére alkalmas. A szilícium chip erőérzékeny ellenállásának piezorezisztív hatásának nincs holt zónája a nullához közeli alacsony tartományban, és a nyomásérzékelő tartománya akár több Kpa is lehet.

2. Magas kimeneti érzékenység. A szilícium nyúlásállóság érzékenységi tényezője 50-100-szer nagyobb, mint a fém nyúlásmérőké, így a megfelelő érzékelő érzékenysége nagyon magas, az általános hatótávolság pedig körülbelül 100 mv. Ezért nincs különleges követelmény az interfész áramkörrel szemben, és kényelmesebb a használata.

3. Nagy pontosság. Mivel a szenzor érzékelését, érzékeny átalakítását és detektálását ugyanaz a komponens valósítja meg, nincs köztes konverziós kapcsolat, az ismételhetőségi és hiszterézis hibák kicsik. Mivel maga a monokristályos szilícium nagy merevséggel és csekély deformációval rendelkezik, a jó linearitás garantált.

4. A működő egység kis alakváltozása miatt a mikro-nyúlás nagyságrendjéhez képest a rugalmas forgács maximális elmozdulása mikron alatti nagyságrendű, így nincs kopás, fáradás, öregedés, és a szolgáltatás élettartama 1×103 nyomási ciklus, stabil teljesítménnyel és nagy megbízhatósággal.

5. A szilícium kiváló kémiai korróziógátló teljesítményének köszönhetően még a nem szigetelt diffúz szilícium nyomásérzékelők is jelentős mértékben képesek alkalmazkodni a különböző közegekhez.

6. Mivel a chip integrált technológiát alkalmaz, és nincs átviteli alkatrésze, kis méretű és könnyű.

Bármilyen kérdésed van velünk kapcsolatbanEPV1szilícium nyomástávadó, kérjük lépjen kapcsolatbaStella Meng.