A diffúz szilícium nyomástávadó szerkezete és működési elve

A diffúz szilícium nyomástávadó szerkezeti összetétele

Mivel a nyomásérzékelő kimeneteUPX19egy nem szabványos jel a gyakorlati alkalmazásokban annak érdekében, hogy az érzékelő univerzálissá váljon, és megkönnyítse a jel továbbítását és rögzítését, az érzékelőt egy szabványos jel bemeneti áramkörrel együtt használják egy szabványos jel kimenetére. Az érzékelőt, amely ekkor a szabványos jelet adja ki, nyomástávadónak nevezzükUPB13.

Röviden: az adó fokozatosan fejlődik ki az érzékelőből. Az ebben a tanulmányban vizsgált diffúz szilícium nyomástávadó főleg MEMS érzékelőből, mérőkapszulából, interfészből és feldolgozó áramkörből (intelligens áramköri lap) áll.

A nyomásérzékelőt és a diódahőmérséklet-érzékelőt a mérőkapszula tetejére csomagolják, és a kapszulatestet két tömítőperemmel rögzítik, hogy az adó mérő részét képezzék, amely a mérendő nyomásjel átalakításáért felelős. a munkaterületet feszültségjellé. Ezenkívül egy elektronikus áramköri kártya, egy folyadékkristályos kijelző fejléc és egy csatlakozó terminál alkotja a kijelző részt, amely felelős az érzékelő által kimenő feszültségjel erősítés útján 4-20 mA-re történő átalakításáért, majd egy szabványos áramjel kimenetéért.

A diffúz szilícium nyomástávadó működési elve

A monokristályos szilícium piezorezisztív hatása alapján a szilícium ostyán egy bizonyos irányban rugalmas alkatrészt gyártanak, fejlett mikro-elektromechanikus feldolgozási technológiával, és négy, azonos ellenállású, erőérzékeny ellenállást állítanak elő az integrált áramkör technológiája a megfelelő helyzetben, amely egy Wheatstone hídhoz kapcsolódik. A hídra állandó feszültséget (áramot) vezetnek, és a mért nyomást veszteség nélkül továbbítják a mérőkapszulába lezárt szilikonolajon keresztül a szilícium chipre, majd az adó kimeneti feszültségjelet lineárisan arányos a mérendő nyomással, majd a feszültségjelet felerősítik és elektronikus áramkörökön keresztül kétvezetékes standard jellé alakítják.

Összefoglalva:

Működési elvéből tudni lehet, hogy a nyomásérzékelő fontos része a nyomástávadónakUPB1, és az adó hőmérséklet-eltolódásának fő forrása a szilíciumnyomás-érzékelő hőmérséklet-eltolódása. A szilícium nyomástávadók hőmérséklet-eltolódás-kompenzációjának jelenlegi kutatása szintén főként a szilícium-nyomásérzékelők részére összpontosít.

További részletekért kérjük lépjen kapcsolatbaQi Huang